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凝聚核粒子計數(shù)器的介紹
凝聚核粒子計數(shù)器從計測原理上歸類，仍屬于離散粒子計數(shù)器，與一般離散粒子計數(shù)器的不同之處在于它附有一套使被檢測空氣中的超微粒子尺寸增大的裝置，以便于用一般離散粒子計數(shù)器測定那些原來遠小于其識別能力的超微粒子，例如0.02um的超微粒子。其工作原理如下圖：被測空氣中懸浮的超微粒子由采樣口進入凝聚核粒子計數(shù)器，經(jīng)過溫度為35℃的飽和蒸汽發(fā)生容器及溫度為10℃的凝聚管后，在溫度驟變的條件下以超微粒子為凝聚核，形成了尺寸遠大于超微粒子自身的液滴。液滴的尺寸可根據(jù)檢測需要在一定范圍內調整...
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2020-08-27
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潔凈室靜電測試
潔凈室內往往存在著不容忽視的靜電危害，是導致電子器件、電子儀器和設備損壞或性能下降的重要因素之一，對芯片制造影響尤為重要。此外，靜電還是潔凈室在生產(chǎn)過程中有易燃易爆氣體或粉塵產(chǎn)生時，導致爆炸、火災的元兇以及存在電擊傷人的隱患。潔凈室靜電對塵埃的吸附效應，也易造成生產(chǎn)環(huán)境和產(chǎn)品各個壁面的塵埃聚集，以致影響潔凈室的環(huán)境和產(chǎn)品被污染。1、相關的規(guī)范規(guī)定潔凈室相關規(guī)范對靜電防護問題，從設計到運行都有具體的規(guī)定。例如，潔凈室設施應選用既不會產(chǎn)生也不能蓄積大量靜電的建筑材料。為保護對靜電...
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2020-08-27
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潔凈室的噪聲、微振與照度的測試
由于潔凈室對排除室內污染物的要求高，因此比一般空調房間的通風換氣量要大很多。1～5級高級別潔凈室的通風換氣次數(shù)甚至高達幾百次之多，是普通舒適性空調房間換氣次數(shù)的幾十倍。正因為需要巨大的通風換氣量，從節(jié)省驅動能耗及減少輸送氣流的沿程熱損耗的角度出發(fā)，就要盡可能拉近機房與潔凈室的距離。這也正是廣泛采用裝置在潔凈室內的風機過濾器機組的原因之一。由于機械設備運轉造成的機械振動與噪聲、空調凈化系統(tǒng)較高的靜壓值及系統(tǒng)中氣流引起的噪聲與微振等，都比一般空調系統(tǒng)更為突出，因此潔凈室的噪聲與微...
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2020-08-26
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潔凈室粒子沉積測試
粒子沉積測試在國外某些高級別潔凈室頗受重視。因為通過此項測試，可以讓用戶了解可能沉積到潔凈室工作表面或產(chǎn)品上的空氣中懸浮粒子的數(shù)量與粒子粒徑，這對于分析產(chǎn)品的成品率有較高的參考價值。其檢測的方式是用表面特性與生產(chǎn)中所關注的表面相類似的測量采樣板，在潔凈室內收集沉積粒子。再用光學顯微鏡、電子顯微鏡或表面掃描儀確定沉積粒子的粒徑與數(shù)量；也可以用粒子沉降光度計獲得粒子沉積率的數(shù)據(jù)。后以每單位表面面積在單位時間內的粒子質量或數(shù)目來表示沉積粒子的數(shù)據(jù)。1、測量采樣板上沉積粒子的獲取方法...
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2020-08-26
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潔凈室污染滲漏測試
ISO14644明確規(guī)定此項測試，并指出特別是對于1～5級高級別潔凈室應有效的進行此項測試。此項測試的目的是用以測定有無受污染的空氣從周圍具有相同或不同靜壓的非受控區(qū)侵入到潔凈區(qū)，以評估潔凈室受周邊污染的風險，為采取相應措施提供依據(jù)。此項測試可采用離散粒子計數(shù)器或氣溶膠光度計。1、使用離散粒子計數(shù)器測試污染滲漏（1）測量緊靠被評估潔凈室外部的粒子濃度，該濃度應該比潔凈室高出104倍，并且其濃度至少等于3.5*106個待測粒徑的粒子。如果濃度小于該值，為確保測試的可靠性應使用氣...
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2020-08-24
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潔凈室自凈性能測試
自凈性能測試的目的是用以確定潔凈室或潔凈設施清除懸浮微粒的能力與速率，這是非單向流潔凈室或潔凈設施重要的性能反映。其自凈性能是受控區(qū)內的空氣循環(huán)率，即常說的換氣次數(shù)、進風口及出風口的氣流流型、空氣分布特性以及熱環(huán)境的函數(shù)。在相同的空氣循環(huán)率和其它室內條件下，如果自凈時間較短，說明潔凈室送、回風口布置得當，氣流組織效果好；反之，說明氣流組織不理想。1、自凈性能或自凈時間的定義ISO14644標準規(guī)定，以潔凈室或潔凈設施內粒子濃度的變化率來評估自凈性能，或者用自凈時間，即潔凈室從...
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2020-08-24
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